我所首台多腔集群式磁控镀膜机通过客户预验收

文章出处:原创 人气:5192 发表时间:2017-09-04
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        8月底,经过一个多月的24小时不间断工作、全自动跑片工艺和马拉松式可靠性考验之后,由第一事业部研制的48所首台多腔集群式磁控镀膜机过五关斩六将,性能参数达标,运行状态稳定,接受了客户的现场检阅。近日,客户反馈回的薄膜测试结果良好,工艺合格,标志着设备通过预验收。


经检测,该多腔集群式磁控镀膜机的基本功能达到技术协议要求,单项指标达到验收标准,部分参数优于合同要求。设备为多腔集群式结构,采用SMIF装置实现自动装卸片盒、机械手传送片,全??榛杓?,扩展性强,应用范围广,是目前48所自动化程度最高、定位于集成电路等高端产业的PVD镀膜系统,满足多用途、高产能、低污染、兼容多工艺的连续式生产磁控溅射系统,可用于集成电路、光电子、MEMS等行业。该设备的成功研制为PVD设备走向高端化、集成化、系统化打下了坚实基础。

为加快项目推进,进一步适应客户器件制造工艺要求,课题组制定倒排工作计划,定期召开工作例会,按照客户提出的补充要求,加快SMIF装置的安装与调试,进一步优化自动程序、自动工艺,为设备验收和交付做好准备。


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